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仕様
内容
名称
クリ－ンオ－ブン（２槽式）
外形寸法
W1200×H1400×D1070
槽内寸法
W450×H300×D570
使用温度
＋６０℃～＋２００℃
主な用途
ウエハー焼成
クリーン環境下での試料乾燥
